自制小型分子束外延系统（MBE1）

自制低温应力调控扫描隧道显微镜-扫描隧道谱系统（LTSTM2）

自制低温扫描隧道显微镜-扫描隧道谱系统（LTSTM1）

自制低温（2K）强磁场扫（9T）描隧道显微镜（LTSTM3）

迷你表面实验室-MBE-STM-HREELS-XPSUPS-LEED联合系统

超高真空原位四探针输运测量系统

深紫外激光原位时间分辨隧道电子谱仪

脉冲电子束沉积系统

等离子体增强化学气相沉积系统

磁控溅射系统

原子力显微镜

透射电子显微镜

化学气相沉淀

能量/动量二维解析的高分辨电子能量损失谱仪(HREELS)

太阳能电池I-V测试系统(Solar I-V Test Platform)

42-220紫外臭氧清洗机(UVO Cleaner Model 42-220)

高斯计（CH-1600）

矢量网络分析仪（AV36580A）