紫外臭氧清洗机的低压汞灯能同时发射波长253.7nm和184.9nm的紫外光，紫外光能将臭氧分解成氧气和活性氧，臭氧会不断的生成和分解，活性氧原子不断的生成。253.7 nm光能与多数活化了的有机物（即碳氢化合物）发生氧化反应，生成挥发性气体逸出物体表面，从而彻底清除了粘附在样品表面上的有机污染物。这种方法能有效清除硅、砷化镓、石英、蓝宝石、玻璃、云母、陶瓷和金属表面的有机污染物。