报告题目： 冰基电子束曝光微纳加工技术

报告人： 蔡志浩

报告简介：微纳加工技术的发展极大增进了人们改造微观世界的能力 。 电子束曝光技术作 为 最常用的微纳加工方法之一，凭借其高分辨率和精准度在集成电路和纳米光学等领域具有广泛应用。然而， 流程复杂的传统工艺和有限的应用范围使其难以满足日新月异的微纳器件加工要求。为此，以冰或小分子替代光刻胶的冰基和类冰基电子束曝光技术应运而生。这类技术在工艺流程简化、原 位加工、非平面和易碎衬底加工等方面具有独特优势。本次报告将简要介绍冰基与类冰基电子束曝光技术的基本原理和仪器设计，并结合具体案例展示其精细结构的制造能力与独特优势，展望其在微纳加工领域的美好应用前景。