Thermo Scientific ESCALAB 250X型X射线光电子能谱仪采用微单色化X射线源(Al靶),取样面积可减小至200-300微米,可以获得高达0.45eV的能量分辨率和 较高的束流灵敏度。适用于高灵敏度的XPS点分析或微区分析,对新型材料,如纳米材料和薄膜材料的微区分析和研究更为有利。仪器配有低能电子中和枪和离子溅射枪。
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