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Title：球差校正透射电子显微镜原理、技术及应用
Speaker：Jianlin Wang（SF01）
Abstract：透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，TEM）是利用高能电子束充当照明光源而进行放大成像的大型显微分析设备。1932年，德国科学家Ruska和Knoll研制出了世界上第一台透射电镜，其分辨能力比光学显微镜提高了20倍。从此，人类对微观世界的科学研究有了更强有力的武器。但受限于物镜球差、色差等因素，TEM的分辨率无法达到亚埃级，不能实现原子级别成像。20世纪末，物镜球差校正的成功实现，使得电镜的分辨率大大提高，不仅实现了空间亚埃分辨，还实现了能量的亚电子伏特分辨，其分辨能力也比最初时提高了超过100倍。如今，TEM在自然科学研究中起到了日益重要的作用。本次半月谈从电子显微学成像原理出发，通过电镜的分辨率引入球差校正，介绍使电镜分辨率得到显著提高的球差校正技术，最后介绍球差校正电镜在固体物理、材料等领域的应用。 |
