报告人：梁艳（SF06）

报告简介：氧化物薄膜有着丰富的电学和光学性质，使得他们在微电子设备中有很广阔的应用，特别是在现在对设备的集成度有高要求的情况下。而近年来，由于氧化物薄膜生长技术的迅速发展，已经能够实现在原子尺度控制薄膜的生长。本报告介绍了氧化物薄膜生长的热力学，生长高质量氧化物薄膜的两种方法，最后给出了界面，应力，超晶格给氧化物带来的新奇现象。