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X射线光电子能谱仪(XPS)

功能

Thermo Scientific ESCALAB 250X型X射线光电子能谱仪采用微单色化X射线源(Al靶),取样面积可减小至200-300微米,可以获得高达0.45eV的能量分辨率和  较高的束流灵敏度。适用于高灵敏度的XPS点分析或微区分析,对新型材料,如纳米材料和薄膜材料的微区分析和研究更为有利。仪器配有低能电子中和枪和离子溅射枪。

指标

  • X射线源:单色X射线源(Al Kα)
  • 分析面积: 200µm-1mm可调
  • 扫描能量范围:0 - 5000 eV
  • 荷电中和源:多模式中和枪
  • 中和电子束能量     0 - 5 eV
  • 低能电子束流:可达 500 µA
  • 溅射离子源类型:EX06
  • 离子束能量:100 eV - 4 keV连续可调
  • 最大束流:>6 µA(3 KeV)
  • 离子束流密度:5 mA/cm2

测量样品预约电话和电子邮件
电 话:82649435;82649701
E-mail:qlguo@iphy.ac.cn
联系人:郭沁林

 
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